Equipment

Die elektronenmikroskopische Abteilung verfügt über 2 Rasterelektronenmikroskope (SEM)
und 3 Transmissionselektronenmikroskope (TEM):

• FEI Quanta 3D FEG (SEM)
• Zeiss LEO Gemini 1550 (SEM)
• JEOL JEM 1011 (TEM)
• FEI Tecnai G2 Spirit Twin (Kryo-TEM)
• JEOL JEM-2200FS (Hight-Resolution TEM)

Mithilfe der Elektronenmikroskope lassen sich nanoskopische Proben abbilden und bezüglich ihrer chemischen Zusammensetzung (EDX, WDX, EELS) sowie kristallinen Beschaffenheit (SAED) genauer untersuchen.  Darüberhinaus besteht die Möglichkeit, Proben bei verschiedenen Temperaturen zu messen (-180 °C bis +1000 °C) oder mithilfe eines speziellen Probenhalters tomographisch abbilden, was für die Untersuchung poröser Filme oder dreidimensionaler Strukturen von Interesse sein kann. Auch Querschnitte, sogenannte cross sections, lassen sich mühelos aufnehmen. Im Speziellen kann mithilfe eines Focused Ion Beams (FIB) Probe geschnitten werden. So lassen sich Lamellen einer Dicke von ca. 100 nm herstellen, die im TEM genauer untersucht werden können.

Für die Beschichtung der Proben mit einem dünnen Kohlefilm oder einer dünnen Metallschicht steht ein Sputter-Coater zu Verfügung. Mithilfe eines (Kryo-)Ultramikrotoms können in Harz eingebettete Proben für die (HR)TEM vorbereitet werden. Hier kommt gelegentlich eine Feindrehmaschine zum Einsatz, mit der die Probe für die (Kryo-)Ultramikrotomie vorgeformt werden kann.